非金属材料专业外文翻译1

外 文 资 料 译 文PECVD法在低阻P型硅上沉积化学计量氮化硅的高质量表面钝化作用Jan Schmidt,Mark Kerr摘要通过直接式高频PECVD在低阻(1Ωcm)P型硅太阳能电池片基体沉积