电容屏Sensor制造流程工艺说明书教案资料

工程挨次：• BM→‚SPT ITO→ƒEtch ITO→„X 轴架桥(EOC 光阻)→…SPT Mo-Al-Mo→†Etch Mo-Al-Mo→‡保护层(EOC 光阻)以下是各工程制程细部讲解：第一