面向FOUNDRY的MEMS薄膜力学参数在线测试研究

面向FOUNDRY的MEMS薄膜力学参数在线测试研究摘要：本文针对MEMS（微机电系统）行业的FOUNDRY（厂商）在薄膜力学参数的在线测试方面的研究做出了探讨和分析。首先介绍了MEMS行业的背景和薄