低温调整磁控溅射镀膜故障的排除

低温调整磁控溅射镀膜故障的排除1．磁控溅射源常见故障的排除故障名称成 因 及 对 策放电不正常(1)磁控溅射过程中放电不正常主要表现为，电压升至400V后发生过流；或放电不集中在靶面，而由靶伸向放电