基于MEMS技术制作的硅纳米线及其性质研究

基于MEMS技术制作的硅纳米线及其性质研究随着科学技术的发展，MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微电子机械系统）技术已经成为最活跃的研究领域之一。通过微纳加工