高精度四极质谱检测限测试和影响因素分析

高精度四极质谱检测限测试和影响因素分析    罗 艳，吴晓斌，王魁波(1.中国科学院 微电子研究所，北京 100029； 2. 中国科学院 光电研究院， 北京 100094)极紫外光刻(EUVL)是目