微机械制造技术及应用

微机械制造技术及应用摘要：介绍了微机械的制造技术和应用实例，并透视了微机械的市场前景。 一、对微机械的认识随着超精加工、精细加工和硅集成电路技术的不断提高，微机械制造技术迅速发展，应用越来越广泛。尽管