硅片生产过程详解

培训目的：确定硅片生产过程整个目标；为工艺过程确定一典型流程；描述每个工艺步骤的目的；在硅片生产过程中，硅片性能的三个主要关系的确定。简介硅片的准备过程从硅单晶棒开始，到清洁的抛光片结束，以能够在绝好