精华资料椭圆偏振光谱仪

精华资料椭圆偏振光谱仪薄膜测量: 椭圆偏振光谱仪成为制作工业用薄膜的关键工具 作者:Eric Teboul 过去十年，人们对纳米薄膜属性的研究兴趣与日俱增。将薄膜的厚度减小到100纳米以内导致了材料的