化学放大光刻胶高分子材料研究进展

化学放大光刻胶高分子材料研究进展王春伟，李弘？，朱晓夏(南开大学高分子化学研究所，吸附分离功能高分子材料国家重点实验室,天津300071)摘要:综合论述了化学放大光刻胶类高分子材料，并着•重介绍193