磁控溅射法制备MgxZn1-xO薄膜及性能研究

磁控溅射法制备MgxZn1-xO薄膜及性能研究摘要本文采用磁控溅射法制备了不同Mg/Zn比例的MgxZn1-xO薄膜，并对其结构、光学和电学性能进行了研究。结果表明，随着Mg含量的增加，膜的晶体结构由