谐振式MEMS表面形貌仪探针研究的开题报告

谐振式MEMS表面形貌仪探针研究的开题报告一、选题背景MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）技术在微纳制造中的应用越来越广泛，已经涉及到生命科学、电子器件、摩擦学