芯片厂废气处理工艺流程介绍

芯片厂废气处理工艺芯片厂在生产工艺中使用各种酸液清洗、刻蚀芯片等过程中产生 HF、HCK硫酸雾等酸性气体。对于芯片厂企业在生产工艺过程中产生 的腐蚀性气体（如酸、碱性废气）的治理，目前大多企业采用液体