磁控溅射制备金属掺杂氧化钛薄膜及其光学性质研究的开题报告

磁控溅射制备金属掺杂氧化钛薄膜及其光学性质研究的开题报告摘要：本文介绍了磁控溅射制备金属掺杂氧化钛薄膜的研究。采用磁控溅射方法，掺杂不同浓度的金属元素（Nb、Mo、W、Cr）到氧化钛（TiO2）薄膜中