基于直线电机宏微双重驱动大行程精密定位台的研究的任务书

基于直线电机宏微双重驱动大行程精密定位台的研究的任务书一、研究背景随着科技的不断进步，对于精度和精度要求越来越高的精密定位平台也越来越重要。付出大量精力寻找能够实现高精度、高速度、长行程的定位平台，但