等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题

等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题随着微电子技术的不断发展和要求，传统的沉积和注入技术已经无法满足当前的要求，所以等离子体浸没离子注入与沉积技术应运而生。一、等离子体浸没技术等离子体浸没技