新型多喷淋头式MOCVD反应器的数值模拟及优化设计的综述报告

新型多喷淋头式MOCVD反应器的数值模拟及优化设计的综述报告随着半导体材料的不断发展与应用，研究新型MOCVD反应器及其优化设计成为了一个热门的领域。在MOCVD反应器中，混合气体的均匀分布对于材料的