基于微观层流控制技术的微流道内二次流动刻蚀工艺研究

基于微观层流控制技术的微流道内二次流动刻蚀工艺研究随着微流体技术的快速发展，微流道在各个领域中得到广泛应用，如微加工、生物传感、海洋研究、能源产业等。而微加工领域中对于微流道内表面的加工技术无论对于微