高k金属栅结构PMOS器件的负偏压温度不稳定性的表征技术与退化机理研究

高k金属栅结构PMOS器件的负偏压温度不稳定性的表征技术与退化机理研究高k金属栅结构PMOS器件的负偏压温度不稳定性的表征技术与退化机理研究摘要：高k金属栅结构PMOS器件在工作过程中常常会出现负偏压