基于静电力的可溯源微悬臂梁刚度标定方法

基于静电力的可溯源微悬臂梁刚度标定方法基于静电力的可溯源微悬臂梁刚度标定方法摘要：随着微纳尺度尺寸的器件的发展，微悬臂梁在纳米力学测量领域得到了广泛应用。准确的刚度标定是保证测量结果可信度和准确性的关