ICP刻蚀HgCdTe相关技术研究的中期报告

ICP刻蚀HgCdTe相关技术研究的中期报告本报告介绍了ICP刻蚀HgCdTe相关技术的研究进展情况。研究的目的是为了开发出一种高效、精确、可控的刻蚀方法，用于制备HgCdTe红外探测器。在实验中，我