磁控溅射制备硅基哈氏合金薄膜结构及性能研究的任务书

磁控溅射制备硅基哈氏合金薄膜结构及性能研究的任务书任务书项目名称：磁控溅射制备硅基哈氏合金薄膜结构及性能研究任务概述：本项目旨在通过磁控溅射技术制备硅基哈氏合金薄膜，并对其结构和性能进行研究。该合金薄