聚焦离子束刻蚀硅表面的微观效应模拟分析的任务书

聚焦离子束刻蚀硅表面的微观效应模拟分析的任务书任务概述：本次任务将聚焦于离子束刻蚀硅表面的微观效应模拟分析。该模拟分析旨在深入探究离子束在刻蚀硅表面时所产生的微观效应，进一步提高我们对离子束刻蚀过程的