一种精密电容测量薄膜平面扩张的第三部分：导体和半导体材料 圆弧型柔性铰链刚度特性分析 柔性铰链 相关外文翻译

外 文 翻 译毕业设计题目：柔性铰链微运动的测量与控制方法原文1：A Precision Capacitance Cell for Measurement of Thin Film Out-of-Pl