半导体制造导论

第五章早刖1至少列出三种重要的加热制程氧化，退火，沉积是三种重要的加热制程2说明直立式和水平式炉管的基本系统并列出直立式炉管的优点气体输送系统，制程炉管，控制系统，气体排放系统，装载系统。 LPCVD