气体净化系统手套箱技术要求

气体净化系统手套箱技术要求1.手套箱箱体： 1.1．手套箱箱体为气密性结构，隔绝箱体内外有害气氛并提供便利的操作空间。箱体内外物料通过过渡舱传递。手套箱气密性为行业一级标准，箱体泄漏率小于0.05vo

气体净化系统手套箱技术要求 1.手套箱箱体： 1.1．手套箱箱体为气密性结构，隔绝箱体内外有害气氛并提供便利的操作空间。 箱体内外物料通过过渡舱传递。手套箱气密性为行业一级标准，箱体泄漏率小于 0.05vol%/h（根据ISO10648-2，氧浓度上升法检测，并提供检测报告样本）； 1.2.箱体内部有效尺寸：长1250mm，深780mm，高900mm。为单面操作布局，手 套箱前方安装有PC材质面板，内贴耐腐蚀薄膜。前面板安装有2个手套孔和手 套。手套孔圈采用POM材质。箱体支架高度：1000mm，采用SUS304不锈钢； 1.3.箱体照明系统：照明系统外设，安装于前窗面板上端，前窗加贴漫反射膜， 避免灯光反射。照明系统为PLC控制，彩色触摸屏操作； 1.4.箱体背板装有三层搁物架，搁物架高度可调。配置箱体内电源接口，四孔插 座； 2.过渡舱： 2.1.标准大舱：直径390mm，长度600mm，便于传递大尺寸或大批量物料进出手 套箱，避免外界空气对手套箱内高纯度气氛造成污染。采用SUS304不锈钢，内 有滑盘。过渡舱极限真空度<3Pa。 2.2.标准小舱：长度400mm，直径150mm，便于传递小尺寸或小批量物料进出手 套箱，避免外界空气对手套箱内高纯度气氛造成污染。采用SUS304不锈钢，内 有滑盘。舱门为铝合金材料，压盖式设计，结构坚固稳定。过渡舱极限真空度<3 Pa 3.气体净化系统：单柱气体净化系统，配置1个净化柱，净化柱可再生，自动再 生程序。可得气体纯度：H2O<1ppm,O2<1ppm。 工作气体：氮气，氩气或氦气。 再生气体：氮气/氢气混合气或者氩气/氢气混合气，再生程序可根据再生气中的 氢气浓度调整（<4%或>4%氢气浓度对应不同再生程序）。 主控阀：MBEPV-40电磁气动阀 真空泵：配备真空油泵，带原装气镇和油雾过滤器；抽速：12m3/h，极限真空度， <3Pa 循环泵：集成有循环泵，循环功率可在60%~100%内设置调整，最高流速88M3/H. 控制系统：PLC控制系统，彩色触摸屏控制，以及用于压力调节的脚踏板自动压 力控制系统。箱体内压力可在+/-15mbar内任意调节。