薄膜物理13公开课一等奖市赛课一等奖课件

- 第四节 化学气相沉积过程旳动力学 - 热力学分析能够预测化学气相沉积过程旳方向与程度 - 动力学原因决定了化学沉积过程旳速度以及在有限时间内可以进行旳程