用于MEMS惯性开关的微弹簧有限元动力学分析

用于MEMS惯性开关的微弹簧有限元动力学分析摘要MEMS惯性开关是一种微小、高精度感应器，在惯性导航、运动控制等领域中具有广泛的应用。在MEMS惯性开关中，微弹簧是非常重要的组成部分，其稳定性和可靠性