基于Silicon-on-Glass(SOG)技术的微机械陀螺工艺研究的开题报告

基于Silicon-on-Glass(SOG)技术的微机械陀螺工艺研究的开题报告一、选题背景：陀螺仪作为一种重要的精密仪器，在导航、惯性导航、航空航天和军事等领域有着广泛的应用。微机械陀螺作为新型的惯