直拉单晶炉温度梯度与单晶生长热场的调整ppt课件
- (1)热场的概念 热场也称温度场。热系统内的温度分布状态叫热场。煅烧时,热系统内的温度分布相对稳定,称为静态热场。在单晶生长过程中,热场是会发生变化,称为动态热场。 单晶生长时,由
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