微机电系统设计和制造重点

第一章 绪论 1.常用的微电子机械系统名称有哪些？其定义是什么？ a.微电子机械系统；b.微机械；c.微系统技术。MEMS微电子机械系统是采用微加工的方法形成的由微小机械和电子机械元件（装置和结构）组