基于PMAC定位平台的定位精度与误差补偿研究

基于PMAC定位平台的定位精度与误差补偿研究    马 平，张智阳，肖 全，张 勇（广东工业大学机电工程学院，广东 广州 510006）1 引言超精密定位平台是超精密定位器械中的一种，它为超精密加工、