第七章低介电常数薄膜材料市公开课一等奖市赛课获奖课件

- 低介电常数薄膜材料 - 7.1 低介电常数材料的研究背景7.2 碳基低介电常数薄膜7.3 硅基低介电常数薄膜7.4 SiCOH多孔（超）低介电常数材料的制备与性能