磁控溅射法中影响薄膜生长的因素及作用机理研究

磁控溅射法中影响薄膜生长的因素及作用机理研究磁控溅射技术是一种以磁场作为控制工具，将固体材料表面溅射到基板上形成薄膜的高技术制备方法。该技术具有非常广泛的应用范围，被广泛应用于电子器件、光学等领域。在