洁净室及洁净区中悬浮粒子洁净级别

洁净室及洁净区中悬浮粒子洁净级别美国联邦标准FED-STD-209E（米制）（节选）1范围和局限1范围本标准以洁净室和洁净区内空气悬浮粒子浓度为依据，建立了空气洁净度标准级别及可供选择的级别，规定了空