射频磁控溅射制备碲化铋热电薄膜性能研究

射频磁控溅射制备碲化铋热电薄膜性能研究射频磁控溅射制备碲化铋热电薄膜性能研究摘要：碲化铋是一种具有较高热电性能的材料，在热电领域具有广泛的应用前景。本研究采用射频磁控溅射技术制备了碲化铋热电薄膜，并研