硅微加速度传感器

9.2 MEMS技术与微型传感器9.2.1 MEMS技术9.2.2 微型传感器9.2.1 MEMS技术y MEMS技术是多学科交叉的新兴领域，涉及精密机械、微电子材料科学、微细加工、系统与控制等技术学