残留气体分析在物理气相沉积中应用与发展-集成电路工程专业毕业论文

摘 要残留气体分析器（residual gas analysis, RGA）具有很高的化学选择性和 灵敏度,因此长期应用于在半导体制造中以及化学工艺过程的监控和异常情况检 测。随着制程技术层次的不断提