基于LODTM的大口径太赫兹波束控元件确定性超精密加工

基于LODTM的大口径太赫兹波束控元件确定性超精密加工摘要大口径太赫兹波束控元件在太赫兹波领域中有着广泛的应用。本文以LODTM为基础，结合现有的加工技术和控制方法，研究了大口径太赫兹波束控元件的确定