基于白光干涉的表面三维形貌检测系统研究

基于白光干涉的表面三维形貌检测系统研究基于白光干涉的表面三维形貌检测系统研究摘要：表面三维形貌检测在工业制造和科学研究中具有重要的应用。本论文针对表面三维形貌检测的需求，基于白光干涉技术，设计了一种表