薄膜物理与技术精品课件（史鹏）CH2-1-um

- 第二章 薄膜的沉积技术 - 2.1 真空技术基础 2.2 物理气相镀膜：蒸发2.3 物理气相镀膜：溅射2.4 化学气相沉积2.5 化学溶液沉积2.6 膜厚的测量与监控技术