硅-玻璃通道型标准漏孔制作及性能研究的开题报告

硅-玻璃通道型标准漏孔制作及性能研究的开题报告一、研究背景硅玻璃是一种具有高温、高压、优异透明度和优良化学稳定性的材料，近年来被广泛应用于微电子领域、生命科学领域、光学器件等领域。同时，通道型微流控芯