光致抗蚀剂在半导体制造中的应用

光致抗蚀剂在半导体制造中的应用光致抗蚀剂在半导体制造中的应用背景介绍：光致抗蚀剂是一种可通过光照射而引发结晶反应，据此在表面上形成保护膜并防止腐蚀的材料。在半导体制造过程中，光致抗蚀剂已经得到了广泛的