基于平面干涉仪的长曲率半径测量方法研究

基于平面干涉仪的长曲率半径测量方法研究基于平面干涉仪的长曲率半径测量方法研究摘要：曲率半径是描述曲面形状的一个重要参数，广泛应用于光学、微电子、精密加工等领域。本文以基于平面干涉仪的长曲率半径测量方法