电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材-中国有色金属标准质量信息网

前 言本标准是根据近年来电子薄膜制造技术的日趋成熟，首次制定。本标准由全国有色金属标准化技术委员提出并归口。本标准起草单位：宁波江丰电子材料有限公司。本标准主要起草人： 电子薄膜用高纯钨及钨合金