大流量条件下干式真空泵性能测量方法及系统实现的开题报告

大流量条件下干式真空泵性能测量方法及系统实现的开题报告一、选题背景干式真空泵是一种新颖的真空泵，相比于传统的油封式真空泵具有更少的维护成本、更少的环境污染等优点。它目前广泛应用于半导体制造、真空冶炼、