气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响

气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响摘要：真空漏孔是真空技术中常见的问题，漏孔漏率的测量对于确保真空系统的正常运行至关重要。本文对气体介质、压强以及