基于电荷泵技术的Si-SiO2界面电荷分布特性研究

基于电荷泵技术的Si-SiO2界面电荷分布特性研究摘要：Si-SiO2 界面电荷是集成电路工艺中的一种重要现象，它会影响电学和物理特性，从而影响集成电路的性能。本文通过基于电荷泵技术研究 Si-SiO