高密度低寄生电感硅基半导体电容器的设计及验证

高密度低寄生电感硅基半导体电容器的设计及验证第29卷第3期2010年3月电子元件与材料ELECTRONICCoMPONENTSAND【ATEmALSMar2010高密度低寄生电感硅基半导体电容器的设计