半导体工艺半导体制造工艺技术试题库3

项目—-二一〔四五总分满分100得分一、填空题（每空1分，计10分） TOC \o "1-5" \h \z 1、 工艺上用于四氯化硅的提纯方法有 和 O2、 在晶片表而图形形成过程中，一般通过腐蚀的方